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Mikroelektromechanische Systeme - VO |
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Institut:
Institut für Elektrische Meßtechnik und Meßsignalverarbeitung
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Semesterstunden: 2
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Inhalt:
- Herstellung mikromechanischer Strukturen: surface and bulk micromachining
- Entwurf/Design von Mikrosystemen: Beschleunigungssensoren, Drehratensensoren
- Packaging von MEMS/Sensoren
- Materialeigenschaften - Charakterisierung und Modellierung
- Test, Charakterisierung und Qualifizierung
Quelle:
TUGraz-Online
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| Alle Downloads (5 Dateien) |
Prüfungsfragenausarbeitung |
Datum Upload Datum Größe Uploader Anzahl der Downloads Dateityp Dateiendung |
| |  Prüfungsfragenausarbeitung WS2021 | | |
Ausarbeitung aller alten Prüfungsfragen bis (exkl.) 25.2.2022. Mit Unterlagen ausgearbeitet. Keine Garantie auf Richtigkeit. 2 ECs | | Upload am: 02.03.2022, 08:51 | 3,17 MB | 26 Downloads
Mikroelektromechanische Systeme VO |
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| | | | Klausurangabe 25.02.2022 | | |
Klausurangabe vom 25.2.2022 1 ECs | | Upload am: 25.02.2022, 12:55 | 60,84 kB | 25 Downloads
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| | |  Fragensammlung | |
Prüfungsfragen aus dem Vorjahr 1 ECs | | Upload am: 11.02.2021, 17:24 | 13,30 kB | 35 Downloads
Mikroelektromechanische Systeme VO |
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| | | | Klausurangabe 01.02.2017 | | |
Rekonstruktion der Prüfungsfragen vom 1.2.2017 2 ECs | | Upload am: 02.02.2017, 13:17 | 190,21 kB | 1 Seiten | 94 Downloads
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| | | | Stoffzusammenfassung WS2014 | | |
Zusammenfassung der wichtigsten Kapiteln + Kommentare aus der VO
Für eine positive Note sollte das locker genüge (bei mir ging sich eine 2 aus). 8 ECs | | Upload am: 30.04.2015, 09:00 | 2,02 MB | 9 Seiten | 109 Downloads
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| Statistik |
| Anzahl der angezeigten Dateien: 5 | Größe der gezeigten Dateien Gesamt: 5,45 MB |
